Microfabrication
Photolithographie, salle blanche, MEMS, micro-usinage et fabrication de dispositifs microfluidiques.
Microfabrication & salle blanche
3 outils
- Inspecteur de fichiers Gerber et ExcellonFormat, unités, emprise et primitives d’un fichier Gerber RS-274X ou Excellon, lu dans le navigateur sans envoi.
- Paramètres de micro-usinage : fraisage et perçageVitesse de broche, avance et charge par dent de départ en micro-fraisage et perçage, selon la matière et la fraise, d’après des tables publiques.Provisoire
- Recette de procédé SU-8 (spin-coating, soft bake, dose, PEB, développement)Vitesse de spin-coating, soft bake, dose corrigée du substrat, temps d’exposition, PEB et développement, par produit SU-8 et avec leurs sources.