Convertisseur de dose UV et d’irradiance
mJ/cm², J/m², mW/cm² et W/m², les unités des radiomètres et des fiches techniques de photolithographie.
Résultat
Valeur convertie
10 J/m²
- Formule
- 1 mJ/cm² = 10 J/m²
Calcul, hypothèses et sources
PrésentationConversion d’une dose UV surfacique ou d’une irradiance.
Conversion d’une dose UV surfacique ou d’une irradiance. Les fiches techniques de photolithographie donnent la dose en mJ/cm², les radiomètres l’irradiance en mW/cm².
Méthode & formulesD = E × t
D = E × tt = D / E1 mJ/cm² = 10 J/m² (exactement)
Pour une résine à 150 mJ/cm² sous une lampe de 10 mW/cm², l’exposition dure 15 s. L’incertitude porte sur la mesure de l’irradiance.
- mJ/cm²
- Millijoule par centimètre carré (mJ/cm²)
- J/cm²
- Joule par centimètre carré (J/cm²)
- J/m²
- Joule par mètre carré (J/m²)
- kJ/m²
- Kilojoule par mètre carré (kJ/m²)
- mW·s/cm²
- Milliwatt-seconde par centimètre carré (mW·s/cm²)
- µW/cm²
- Microwatt par centimètre carré (µW/cm²)
- mW/cm²
- Milliwatt par centimètre carré (mW/cm²)
- W/cm²
- Watt par centimètre carré (W/cm²)
- W/m²
- Watt par mètre carré (W/m²)
- kW/m²
- Kilowatt par mètre carré (kW/m²)
Domaine de validitéUne dose se rapporte à la bande spectrale dans laquelle elle a été mesurée.
Une dose se rapporte à la bande spectrale dans laquelle elle a été mesurée. Les fiches techniques des résines époxy négatives recommandent une mesure en i-line (365 nm). Un radiomètre large bande, sensible aussi sous 350 nm, lit une valeur plus élevée pour la même exposition utile.